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MM3A-EM微纳操纵仪(Micromanipulator)体积小,安装在SEM/FIB的腔室内。可用于TEM样品的原位提取,半导体器件的纳米探测,纳米材料样品的微纳操纵等。
位置编码的微纳操纵仪(Encoded Micromanipulator),兼具MM3A-EM产品的特点的同时,各轴都具有编码功能,可实现位置的编码、存储、调用。一键恢复探针到工作或停留位置。
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